Hallo Ulli,
nun, da Dir das Rayleight-Kriterium (Stichwort Beugungsscheibchen) ja bereits bekannt ist, kannst Du mal davon ausgehen, dass Du eine Quelle die KLEINER ist als dieser Durchmesser nicht mit einfachen Mitteln noch kleiner bekommst. Will sagen: Wenn Du Dir eine Optik ausdenkst, die als Beugungsscheibchen einen Durchmesser hat, der Größer als Deine Emitterfläche ist, bekommst Du einen Beugungsbegrenzten Strahl, der sich auch wieder auf die Größe eines Beugungsscheibchens fokussieren lässt (Fehlerfreie Optik mal angenommen). Ist Deine Emitterfläche größer, als das Beugungsscheibchen Deiner Optik, bekommst Du eine geometrische Abbildung (Die natürlich wegen der Beugung "Weichgezeichnet" wird).
Recht genaue Daten über die Energieverteilung in der Bildebene erhältst Du mit den Mitteln der Fourier-Optik. Da musst Du ggf. Bücher wälzen, das hier aus zu breiten wäre wohl zu umfangreich und wegen der teils seltsamen Formeln recht mühsam zu tippen

. Aber in diesem Bereich gibt es gute Literatur die Dir sicher weiter hilft (Hochschulbibo in Deiner Nähe steht jedem Bürger zur Verfügung).
Mit ein paar optischen Tricks ist es ferner möglich, die Energieverteilung im Beugungsscheibchen zu beeinflussen und entsprechend noch etwas kleinere Spots zu erzeugen. Je nach dem wie viel Aufwand man treibt, spielen dann auch Faktoren wie die Polarisationsrichtung und der Polarisationszustand eine wichtige Rolle - Nicht jede Pol.Richtung lässt sich gnadenlos fokussieren. Deshalb wird auch z.B. bei Beschriftungslasern zunehmend Wert auf Polarisationserhaltende Spiegel gelegt.
Nun, auch das war sicher keine erschöpfende Antwort auf Deine Frage, aber vielleicht waren ein paar Anregungen dabei wo man weiter suchen könnte. Das Beugungsscheibchen ist jedenfalls nicht das absolute Minimum. Auch, dass die Bildgröße nicht kleiner sein kann als die Gegenstandsgröße stimmt so nicht. Wenn Du mal den Strahlengang z.B. eines Mikroskopes gedanklich um kehrst, wirst Du das schnell bemerken. (Oder habe ich Dich missverstanden)
Viele Grüße,
Raphael